半导体

凯瑞光电微波无电极紫外固化系统可完全适用于半导体高端的工艺制程,无论是材料的固化还是晶圆的表面处理,我们的系统都能够提供快速,稳定的工艺保证。在高端半导体领域备受瞩目的今天,作为国产微波无极灯的品牌,斯凯瑞无疑可以成为您最为信赖的合作伙伴,助力国产半导体产业的腾飞和崛起。

 

SKR®10-TWIN在保证最大化的UV输出和反射之外,还能够最低限度的输出红外热量,单灯和双灯的多样化设计,也可为不同尺寸的晶圆提供固化应用。此外,多种反光片的设计,能够满足不同客户对于反光设计的需求。

 

 

  • 定制化设计,配合不同型号CVD机台
  • 适用于12寸晶圆,28nm及更先进制程工艺
  • 批量投入国内半导体先进制程Fab端
  • 完美替代进口设备垄断,突破技术封锁
  • 承接国家半导体先进制程国产化替代项目

 

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